[发明专利]一种用于校准不同示漏气体真空漏孔漏率的系统及方法

摘要

本发明公开了一种用于校准不同示漏气体真空漏孔漏率的系统，包括氦质谱检漏仪、标准容器、氩气气源、待校准真空漏孔、示漏气源、定容室、涡旋分子泵和涡轮机械泵；所述涡旋分子泵和涡轮机械泵依次与定容室、标准容器管道连接；所述待校准真空漏孔一端与示漏气源管道连接，另一端连接到标准容器与定容室之间、且在该连接管道上还分别连接有氦质谱检漏仪和氩气气源。并且，该系统可通过定容法所测漏孔漏率的大小，结合氦质谱检漏仪测定不同示漏气体介质真空漏孔漏率，得到用氦质谱检漏仪快速测量不同示漏气体介质时漏率之间的换算关系。该系统设计合理，结构简单，操作方便，可校准不同示漏气体的真空漏孔漏率。

主权项

1.一种用于校准不同示漏气体真空漏孔漏率的系统，其特征在于，包括氦质谱检漏仪(A)、标准容器(B)、氩气气源、待校准真空漏孔(D)、示漏气源、定容室(I)、涡旋分子泵(K)和涡轮机械泵(L)；所述涡旋分子泵和涡轮机械泵均通过第十阀门(10)与定容室的一端管道连接，所述定容室另一端依次通过第九阀门(9)和第三阀门(3)与标准容器管道连接；所述待校准真空漏孔一端与示漏气源管道连接，待校准真空漏孔另一端依次通过第五阀门(5)和第四阀门(4)管道连接到第九阀门(9)与第三阀门(3)之间的管道上；所述氦质谱检漏仪通过第一阀门(1)管道连接到第五阀门与第四阀门之间的管道上，所述氩气气源通过第二阀门(2)管道连接到第五阀门与第四阀门之间的管道上；所述待校准真空漏孔与示漏气源的连接管道上设有第一复合真空计(F)；所述定容室上设有一个薄膜电容规(H)，定容室与第十阀门的连接管道上设有第二复合真空计(J)。