[发明专利]一种制备纳米光栅的装置和方法

摘要

本发明公开了一种制备纳米光栅的装置，包括安装底座和L形安装支架，且L形安装支架固定焊接在安装底座的一侧顶部，所述安装底座的底部固定焊接有支撑架，所述安装底座的顶部固定安装有电机，所述电机的输出轴连接有第二转动连接件，所述第二转动连接件远离电机的一端设有匀胶台，所述第二转动连接件与匀胶台转动连接。本发明提出的一种制备纳米光栅的装置，结构简单，设计合理，利用匀胶台完成光刻胶旋涂工序，利用电子束曝光机、中间掩膜版、聚光透镜和反射镜完成基片的曝光工作，本发明提出的装置用于制备纳米光栅，设备投资小，制备成本低，操作简单，易于控制，制备周期短，所得纳米光栅性能好、质量高，成品合格率高，值得推广。

主权项

一种制备纳米光栅的装置，包括安装底座（1）和L形安装支架（2），且L形安装支架（2）固定焊接在安装底座（1）的一侧顶部，其特征在于，所述安装底座（1）的底部固定焊接有支撑架（19），所述安装底座（1）的顶部固定安装有电机（18），所述电机（18）的输出轴连接有第二转动连接件（17），所述第二转动连接件（17）远离电机（18）的一端设有匀胶台（16），所述第二转动连接件（17）与匀胶台（16）转动连接，所述L形安装支架（2）靠近匀胶台（16）的一侧设有第一滑槽（5），所述第一滑槽（5）内设有推杆电机（6），且第一滑槽（5）与推杆电机（6）滑动连接，所述推杆电机（6）的输出轴固定连接有安装支架（7），所述安装支架（7）的底端固定焊接有储胶室（4），且所述储胶室（4）的下方设有出胶口（3），所述L形安装支架（2）靠近匀胶台（16）的一侧固定安装有电子束曝光机（8），且电子束曝光机（8）位于推杆电机（6）的上方，所述L形安装支架（2）的顶部靠近匀胶台（16）的一侧设有第二滑槽（9），所述第二滑槽（9）内设有第一滑块（10）和第二滑块（11），所述第一滑块（10）和第二滑块（11）均匀第二滑槽（9）滑动连接，所述第一滑块（10）远离第二滑槽（9）的一端固定连接有中间掩膜版（12），所述第二滑块（11）远离第二滑槽（9）的一端固定连接有聚光透镜（13），所述L形安装支架（2）的顶部远离电子束曝光机（8）的一端底部固定安装有第一转动连接件（14），所述第一转动连接件（14）的底端设有反射镜（15），且所述第一转动连接件（14）与反射镜（15）转动连接。