[发明专利]一种MCVD方法中反应管压力控制及尾气处理方法

摘要

本发明公开了一种MCVD方法中反应管压力控制及尾气处理方法，包括以下步骤选取石英管并进行预处理；安装固定尾气管；安装固定进气管；熔接反应管；将废料管伸入尾气管内，安装固定废料管；尾气管和废料管尾端密封，将尾气管与压力控制阀连接，废料管与排风装置连接；开启MCVD工作状态，并通过尾气管尾部压力控制阀控制反应管内压力，废料管尾端排风装置收集废气、废料。采用本发明，可以避免传统MCVD方法中反应管内压力控制不稳定的弊端，以及解决了因压力问题导致的反应废料堵塞废料管的问题。

主权项

一种MCVD方法中反应管压力控制及尾气处理方法，其特征在于，包括以下步骤：（一）、选取石英管分别作为反应管、进气管、尾气管和尾气管，并进行预处理；（二）、将进气管固定在车床进气管卡盘上，将进气管外侧一端与反应管一端进行熔接；（三）、将尾气管固定在车床尾气管卡盘上，并将尾气管密封固定装置套在尾气管尾部一端，通过橡胶圈将尾气管固定在尾气管密封固定装置上，尾气管密封固定装置固定在车床上，尾气管尾部与尾气管密封固定装置之间紧密贴合密封；（四）、将反应管尾部一端软化与尾气管熔接；（五）、将废料管进气一端从尾气管尾部一端伸入尾气管中，且与反应管、尾气管的熔接处留有间隙，废料管的另一端插入废料管密封固定装置，并通过橡胶圈固定，废料管密封固定装置固定在车床上，废料管与废料管密封固定装置之间紧密贴合密封；（六）、废料管的另一端插入尾气管密封固定装置后，连接尾气排风装置；（七）、将氮气管路与压力控制阀连接在尾气管尾部，通入氮气，形成正压力；（八）、工作状态下，进气端通入载气及反应原料，控制反应管内部压力，从而控制预制棒制备工作状态中高温软化的反应管的直径。