[发明专利]一种基于光学检测的微机电系统平台

摘要

本发明公开一种基于光学检测的微机电系统平台，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；平台主体包括振动平台；外部封装板形成密闭空间，将平台主体和光学检测机构封装在密闭空间内部；光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；反射镜水平固定在振动平台顶部，镜面朝向外部封装板的顶部；激光器和二极管阵列位于外部封装板顶部内侧，二极管阵列包括多个光电二极管；二极管阵列围绕在激光器周围；激光器发出的光照射到反射镜上，经反射镜的反射后形成的反射光照射到二极管阵列上；二极管阵列检测反射光的光强。本发明公开的微机电系统平台，提高了测量结果的线性度，提高了检测精度。

主权项

一种基于光学检测的微机电系统平台，其特征在于，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；所述平台主体包括振动平台；所述外部封装板形成密闭空间，将所述平台主体和所述光学检测机构封装在所述密闭空间内部；所述光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；所述反射镜水平固定在所述振动平台顶部，镜面朝向所述外部封装板的顶部；所述激光器和所述二极管阵列位于所述外部封装板顶部内侧，所述二极管阵列包括多个光电二极管；所述二极管阵列围绕在所述激光器周围；所述激光器发出的光照射到所述反射镜上，经所述反射镜的反射后形成的反射光照射到所述二极管阵列上；所述二极管阵列检测所述反射光的光强。