[发明专利]一种氧化钛和钯多孔复合薄膜氢气传感器在审
| 申请号： | 201710254065.2 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN107024507A | 公开（公告）日： | 2017-08-08 |
| 发明（设计）人： | 吴双红;毛盛;周寒;杨俊杰;魏雄邦;陈志 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01N27/12;C23C14/08;C23C14/35;C25D11/10;C25D11/12 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230 | 代理人： | 杨保刚 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化钛和钯多孔复合薄膜的氢气传感器。一种氧化钛和钯多孔复合薄膜的氢气传感器，从下往上依次包括阳极氧化铝4、多孔氧化钛薄膜3、多孔金属钯薄膜2和两个金属电极1，其中所述两金属电极1均为条形且相互对称的设置在多孔金属钯薄膜2上表面。本发明采用的氧化钛多孔薄膜可以有效的改善金属钯膜的吸氢性能，减少氢气传感器的响应时间、提高氢气传感器的响应度；氧化钛薄膜层使得器件的选择性也得到保证；此外，本发明可以在室温条件下工作；并且，器件制备工艺简单，易于大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 多孔 复合 薄膜 氢气 传感器 | ||
【主权项】：
一种氧化钛和钯多孔复合薄膜氢气传感器，其特征在于，包括阳极氧化铝(4)，阳极氧化铝(4)上设有多孔氧化钛薄膜(3)，多孔氧化钛薄膜(3)上设有多孔金属钯薄膜(2)，多孔金属钯薄膜(2)上表面设置两个金属电极(1)。
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