[发明专利]温控双V形结构精密连续调节金属纳米光栅周期的装置有效
| 申请号： | 201710255016.0 | 申请日： | 2017-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN107015301B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 向东;王玲;赵智凯;张伟强;倪立发 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 崔自京 |
| 地址： | 300350 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种温控双V形结构精密连续调节金属纳米光栅周期的装置及方法。本发明是利用温控的方法和微纳加工工艺实现的。可运用于光栅光学、微纳光学领域。利用微纳加工技术制作金属纳米光栅和双V形对称结构，利用双V形对称结构的温控作用实现对纳米光栅周期的精密调控。由于双V形对称结构在外加电压作用下产生焦耳热，温度升高会使得V形结构拉伸，可以在纳米级别的精度连续上改变光栅周期。扩展了温控V形对称结构的应用范围，为光栅光学和微纳光学的发展提供了有价值的参考。 | ||
| 搜索关键词： | 温控 结构 精密 连续 调节 金属 纳米 光栅 周期 装置 | ||
【主权项】：
一种温控双V形结构精密连续调节金属纳米光栅周期的装置，其特征在于，包括双V形结构装置、金属纳米光栅结构、绝缘衬底上的硅(SOI)、金属沉积层(金)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南开大学，未经南开大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710255016.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种自动化控制仪表
- 下一篇：平板照明用超薄导光板
