[发明专利]用于制备结构的方法有效
| 申请号： | 201710256317.5 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN107161944B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 布鲁诺·吉瑟兰 | 申请（专利权）人： | 索泰克公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制备结构的方法，该包括：a)提供包括正面和背面的供体衬底；b)提供支撑衬底；c)在供体衬底的正面上或者在支撑衬底上形成中间层；d)组装供体衬底和支撑衬底，以便将中间层设置在供体衬底和支撑衬底之间；e)减薄供体衬底的背面，以便形成具有有用厚度的有用层，有用层具有设置在中间层上的第一面和第二自由面；所述方法的卓越之处在于：供体衬底包括埋入停止层和在供体衬底的正面与停止层之间的具有第一厚度的精细有源层，该第一厚度小于有用厚度；在步骤e)之后，所述方法包括去除结构的第一区域内的由有用层的第二自由面和停止层界定的厚有源层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制备结构(410，410’，410”，420，430)的方法，该方法包括：a)提供包括正面(11)和背面(12)的供体衬底(10)；b)提供支撑衬底(20)；c)在所述供体衬底的所述正面(11)上或者在所述支撑衬底(20)上形成中间层(30)；d)组装所述供体衬底(10)和所述支撑衬底(20)，以便将所述中间层(30)设置在所述供体衬底和所述支撑衬底之间；e)减薄所述供体衬底(10)的所述背面(12)，以便形成具有有用厚度的有用层(100)，该有用层(100)具有设置在所述中间层(30)上的第一面(11)和第二自由面(12’)；所述方法的特征在于：о所述供体衬底(10)包括埋入停止层(2)和在所述供体衬底(10)的所述正面(11)与所述埋入停止层(2)之间的精细有源层(3)，所述精细有源层(3)具有小于所述有用厚度的第一厚度；о在步骤e)之后，所述方法包括去除在所述结构(410，410’，410”，420，430)的第一区域(110)内的由所述有用层(100)的所述第二自由面(12’)和所述埋入停止层(2)界定的厚有源层(4)，所述埋入停止层(2)在所述结构(410)的整个范围内是连续的。
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