[发明专利]MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置有效
| 申请号： | 201710261261.2 | 申请日： | 2017-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN107310272B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 西面宗英;平井荣树;中山雅夫 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/04 | 分类号： | B41J2/04 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;范文萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。该MEMS器件的特征在于，具备：第一基板，其具备驱动区域，并在该驱动区域内依次层压有第一电极层、电介质层以及第二电极层；和第二基板，其以与所述第一基板的层压有所述电介质层的面对置的方式而被配置，所述第一电极层及所述电介质层朝向从所述驱动区域偏离出的非驱动区域而延伸至与所述第二电极层相比靠外侧，具有弹性的第一树脂被形成在所述电介质层的延伸方向上的包括所述第二电极层的端缘在内的区域内，所述第一基板和所述第二基板在夹着发生了弹性变形的所述第一树脂的状态下，通过粘合剂而被固定。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 液体 喷射 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种微机电系统器件，其特征在于，具备：第一基板，其具备驱动区域，并在该驱动区域内依次层压有第一电极层、电介质层以及第二电极层；和第二基板，其以与所述第一基板的层压有所述电介质层的面对置的方式而被配置，所述第一电极层及所述电介质层朝向从所述驱动区域偏离出的非驱动区域而延伸至与所述第二电极层相比靠外侧，具有弹性的第一树脂被形成在所述电介质层的延伸方向上的包括所述第二电极层的端缘在内的区域内，所述第一基板和所述第二基板在彼此间夹着发生了弹性变形的所述第一树脂的状态下，通过粘合剂而被固定。
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