[发明专利]一种半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备方法在审
| 申请号： | 201710261566.3 | 申请日： | 2017-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108727191A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 吴义彪;陈忠平;徐平 | 申请（专利权）人： | 江苏华伦化工有限公司 |
| 主分类号： | C07C67/48 | 分类号： | C07C67/48;C07C67/54;C07C67/56;C07C69/16 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 高姗 |
| 地址： | 225200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体级丙二醇甲醚醋酸酯(简称PMA)的制备方法，以工业级丙二醇甲醚醋酸酯为原料，先通过高效精馏提纯，分子筛脱水，再通过树脂脱酸，阳、阴离子交换树脂去除丙二醇甲醚醋酸酯中的金属离子和非金属离子离子，最后通过超滤得到半导体级丙二醇甲醚醋酸酯。本发明产品重量含量≥99.99％、色度APHA≤10、水分≤50ppm、酸度≤20ppm、各单项金属离子＜0.1ppb、各单项非金属离子＜100ppb、尘埃颗粒(粒径＞0.5μm)＜5pcs/ml，满足半导体器件制作工艺的要求。本发明工艺简洁，绿色环保，易实现连续化，操作安全，产品质量稳定，适合工业化、规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 丙二醇甲醚醋酸酯 半导体级 非金属离子 金属离子 制备 阴离子交换树脂 半导体器件 分子筛脱水 规模化生产 操作安全 尘埃颗粒 高效精馏 绿色环保 制作工艺 质量稳定 工业级 连续化 树脂 提纯 超滤 粒径 去除 色度 酸度 脱酸 离子 | ||
【主权项】：
1.一种半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备方法，其特征在于：以工业级丙二醇甲醚醋酸酯为原料，先通过精馏提纯，分子筛脱水，再通过树脂脱酸，阳、阴离子交换树脂去除丙二醇甲醚醋酸酯中的金属离子和非金属离子，最后通过超滤得到半导体级丙二醇甲醚醋酸酯。
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