[发明专利]掩膜板在审
申请号: | 201710262168.3 | 申请日: | 2017-04-20 |
公开(公告)号: | CN107058945A | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
发明(设计)人: | 罗程远;于东慧 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司11438 | 代理人: | 阚梓瑄,王卫忠 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开一种掩膜板,掩膜板包括掩膜板本体和具有通孔的弹性支撑结构,该支撑结构设置于掩膜板本体的朝向基板的第一表面上,以对掩膜板形成撑托,防止其下垂。另一方面,由于该支撑结构设置于基板和掩膜板之间,因此即使掩膜板发生下垂,也不会接触到基板,由此可以防止掩膜板下垂后对基板造成刮伤。 | ||
搜索关键词: | 掩膜板 | ||
【主权项】:
一种掩膜板,其特征在于,所述掩膜板包括:掩膜板本体,所述掩膜板本体具有朝向基板的第一表面;弹性支撑结构,所述弹性支撑结构设置于所述第一表面上;其中,所述弹性支撑结构上设置有通孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司,未经京东方科技集团股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710262168.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类