[发明专利]三氧化二铝薄膜及其制备方法

摘要

本发明提出了三氧化二铝薄膜及其制备方法，该三氧化二铝薄膜包括：(1)配置前驱体溶液，其中，该前驱体溶液包括α‑Al₂O₃水溶胶、助剂和去离子水；(2)提供干净的基板，并将基板放入前驱体溶液中进行沉积处理；以及(3)将表面沉积有前驱体溶液的基板进行烧结处理，以便获得镀有三氧化二铝薄膜的基板。本发明所提出的制备方法，获得的三氧化二铝薄膜的结晶度高、致密性好，且由于采用了液相化学沉积法，该制备方法具有成本低、设备简单、操作简便、镀膜效率更高的优点，相比于传统有的气相沉积法，该方法的工艺流程简单，还无需高昂的真空维持系统与气路控制系统，因此具有大规模产业化生产的潜力。

主权项

1.一种制备三氧化二铝薄膜的方法，其特征在于，包括：(1)配置前驱体溶液，其中，所述前驱体溶液包括α‑Al₂O₃水溶胶、拟薄水铝石、助剂和去离子水，所述α‑Al₂O₃水溶胶中α‑Al₂O₃的颗粒尺寸不大于80nm、固含量为5～30w/w％，且所述拟薄水铝石的重量与所述α‑Al₂O₃水溶胶和所述去离子水的总重量之比大于0％且不小于50％；(2)提供干净的基板，并将所述基板放入所述前驱体溶液中进行沉积处理；以及(3)将表面沉积有所述前驱体溶液的基板进行烧结处理，以便获得镀有所述三氧化二铝薄膜的基板。