[发明专利]一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法在审
| 申请号： | 201710276600.4 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN107267950A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 王绍权 | 申请（专利权）人： | 苏州同冠微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/30;C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)11489 | 代理人： | 曹军 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发台束斑遥控盒，包括X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块分别与16针插排相连，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块分别通过继电器开关与可调电位器R1、R2、R3相连。本发明蒸发台束斑遥控盒及其控制方法，便于操作人员熔料时调节电子束功率和位置、确保产品成膜质量稳定可靠、减少设备受损的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 台束斑 遥控 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：包括X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块分别与插排相连，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块分别通过继电器开关与可调电位器相连，所述切换指示模块包括切换开关，所述切换开关一端与电源相连，另一端分别与X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块的继电器线圈相连。
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