[发明专利]一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法有效
| 申请号： | 201710279359.0 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN107144210B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 张利斌;韦亚一 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01B7/34 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于扫描电子显微测量技术领域，公开了一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法包括：获得待测线条结构的扫描电子显微图像；截取第一区域；沿线条方向平均化处理，获得线条边缘像素分布曲线；根据所述线条边缘像素分布曲线，确定第一边界区域；局域像素分析，获得边界分布；根据所述边界分布，计算待测线条的宽度和粗糙度，提取待测线条宽度和粗糙度数值。本发明解决了现有技术中测量线条宽度和粗糙度工作量较大、存在人为干预造成的测量误差且只能分析有限个数据点的问题，达到了提高测量的准确性和可靠性，节省工程师实际量测时间和成本的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 粗糙度 线条 测量 电子显微图像 边缘像素 分布曲线 扫描电子 平均化处理 边界区域 测量线条 第一区域 技术效果 人为干预 显微测量 显微图像 线条结构 像素分析 实际量 截取 工作量 工程师 分析 | ||
【主权项】：
1.一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法，其特征在于，包括：获得待测线条结构的扫描电子显微图像；截取第一区域，所述第一区域为图像去除干扰区域后的区域；对所述第一区域内的图像进行沿与线条垂直方向的像素灰度值的平均化处理，获得线条边缘像素分布曲线；根据所述线条边缘像素分布曲线，确定第一极值范围，进而确定第一边界区域；对所述第一边界区域内的图像进行局域像素分析，获得边界分布；根据所述边界分布，计算所述待测线条的宽度和粗糙度，提取所述待测线条的宽度数值和粗糙度数值。
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