[发明专利]一种基板曝边设备有效
申请号: | 201710280310.7 | 申请日: | 2017-04-26 |
公开(公告)号: | CN107121892B | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 龚成波 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/683 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 吴大建;王浩 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提出了显示技术领域中的一种基板曝边设备,该曝边设备的承载台包括外围的固定装置、设置在固定装置上用于承载基板的透明支撑部和被透明支撑部包围的中间支撑部,在基板的曝边制程中,透明支撑部能够使曝边光线穿过而不会形成反射光。从而避免了反射光对基板的损伤和由此产生的缺陷。尤其当透明支撑部由玻璃制成时,进一步保证了支撑的性能,提高了产品品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 基板曝边 设备 | ||
【主权项】:
1.一种基板曝边设备,其特征在于,包括用于承载基板的承载台,所述承载台包括外围的固定装置、设置在所述固定装置上用于承载基板的透明支撑部和被所述透明支撑部包围的中间支撑部,在基板的曝边制程中,所述透明支撑部能够使曝边光线穿过而不会形成反射光;所述透明支撑部包括在基板法线方向上与基板重合的支撑区域和将所述支撑区域固定在所述固定装置上的固定区域,所述支撑区域的朝向基板的一侧与基板紧密贴合,所述支撑区域在基板的法线方向上的厚度均匀;所述固定区域在基板的法线方向上的厚度自所述支撑区域向所述固定装置方向逐渐增加;在所述承载台的一侧上设置有供机械手将基板放置在承载台上的空缺区域。
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