[发明专利]功率半导体构件和用于制造功率半导体构件的方法在审
申请号: | 201710281759.5 | 申请日: | 2017-04-26 |
公开(公告)号: | CN107346781A | 公开(公告)日: | 2017-11-14 |
发明(设计)人: | A·格拉赫;W·法伊勒 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L21/78 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种功率半导体构件(20、30),其具有带有第一掺杂的半导体衬底(21、31)、在所述半导体衬底(21、31)上并且具有第二掺杂的外延层(22、32)和第一区域(23a、33a),该第一区域至少部分由所述外延层(22、32)包围并且具有第三掺杂,其特征在于,设置第二区域(23d、33d),该第二区域与所述第一区域(23a、33a)同心地布置并且相对于所述第一区域(23a、33a)具有水平距离,其中,所述第二区域(23d、33d)延伸直到所述功率半导体构件(20、30)的棱边并且具有第四掺杂。 | ||
搜索关键词: | 功率 半导体 构件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】:
功率半导体构件(20、30),所述功率半导体构件具有:·半导体衬底(21、31),该半导体衬底具有第一掺杂,·外延层(22、32),该外延层布置在所述半导体衬底(21、31)上并且具有第二掺杂,和·第一区域(23a、33a),该第一区域至少部分由所述外延层(22、32)包围并且具有第三掺杂,其特征在于,设置第二区域(23d、33d),该第二区域与所述第一区域(23a、33a)同心地布置并且相对于所述第一区域(23a、33a)具有水平距离,其中,所述第二区域(23d、33d)延伸直到所述功率半导体构件(20、30)的棱边并且具有第四掺杂。
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