[发明专利]用于检测透明物中的缺陷的方法和设备有效
| 申请号： | 201710282231.X | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN107421966B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 福田真士 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/88;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于检测透明物中的缺陷的方法和设备。使用低成本且节约空间的光学尺寸测量设备来以非接触方式进行测量以避免损坏检查对象以及避免感官检查，从而实现对透明产品中的缺陷的定量的、高灵敏度的检查。解决方式：将待检透明物(玻璃板6、透镜8)设置在彼此相对配置的发光部(20、120)和光接收部(60、160)之间。基于穿过设置在透明物(6、8)和光接收部(60、160)之间的遮光物(针规100、光学格子110)并入射至光接收部(60、160)的光线(平行扫描光束51、平行光线151)的变化，检测出由透明物(6、8)中的缺陷(6a)所引起的光路的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 透明 中的 缺陷 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用于检测透明物中的缺陷的方法，该方法包括以下步骤：将要检查的透明物设置在彼此相对配置的发光部和光接收部之间；以及基于穿过被设置在所述透明物和所述光接收部之间的遮光物并入射至所述光接收部的光线的变化，来检测由所述透明物中的缺陷所引起的光路的变化。
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