[发明专利]一种加工大功率半导体激光器热沉叠片的装置及方法在审

专利信息
申请号: 201710282243.2 申请日: 2017-04-26
公开(公告)号: CN107042363A 公开(公告)日: 2017-08-15
发明(设计)人: 郭钟宁;陈玲玉;张冲;刘莉;张文斌;吴玲海 申请(专利权)人: 广东工业大学;佛山市铬维科技有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/70;B23K26/122
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司11227 代理人: 张春水,唐京桥
地址: 510062 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明实施例提供的一种加工大功率半导体激光器热沉叠片的装置,包括激光器、水槽;水槽上方开口,水槽装有液体,水槽中设置有待加工的热沉叠片,热沉叠片浸没于水槽中的液体;激光器对齐于热沉叠片上方,用于发出高能脉冲激光至热沉叠片,通过将热沉叠片设置于液体中然后进行激光加工,激光与液体共同作用,使得激光加工的熔池能量更为集中,使熔融材料去除干净,有效减少了熔融材料的再涂覆,提高了加工质量,既能够减小激光加工热效应的影响,又能够保证精确加工出微通道,同时激光加工效率高,解决现有的切割技术中利用线切割、刻蚀加工等不易加工出,利用激光切割热效应大,变形严重的技术问题。
搜索关键词: 一种 加工 大功率 半导体激光器 热沉叠片 装置 方法
【主权项】:
一种加工大功率半导体激光器热沉叠片的装置,其特征在于,包括:激光器、水槽;所述水槽上方开口,所述水槽装有液体,所述水槽中设置有待加工的热沉叠片,所述热沉叠片浸没于所述水槽中的液体;所述激光器对齐于所述热沉叠片上方,用于发出高能脉冲激光至所述热沉叠片。
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