[发明专利]具有红外检测的气体传感器在审
申请号: | 201710282357.7 | 申请日: | 2017-04-26 |
公开(公告)号: | CN106970120A | 公开(公告)日: | 2017-07-21 |
发明(设计)人: | 黄晓敏 | 申请(专利权)人: | 黄晓敏 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所44242 | 代理人: | 冯筠 |
地址: | 528000 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种气体传感器,包括硅基板、硅基板上的红外检测区、薄膜晶体管和气体传感区,通过集成在同一个基底上,红外检测到人存在时通过薄膜晶体管开启气体传感部分,只有探测到人在的情况下才进行气体探测的传感器,通过对结构和材料选择进行同时改进,实现集成在一个芯片上且能够用于检测只有人在该环境下时才对气体进行探测的芯片。 | ||
搜索关键词: | 具有 红外 检测 气体 传感器 | ||
【主权项】:
一种具有红外检测的气体传感器,其特征在于,包含:硅基板,所述硅基板分为红外检测区、气体传感区和薄膜晶体管;所述红外检测区包括两个电极和两个电极之间的有机红外检测材料,红外检测区的一个电极连接所述薄膜晶体管的源极或漏极,另一个电极连接电源;所述气体传感区包括垂直方向设置的底电极、功能层和顶电极,所述底电极连接所述薄膜晶体管的源极或漏极且与探测电路一极连接,所述顶电极连接探测电路另一极;当所述红外检测区探测到红外线时使薄膜晶体管导通,气体传感区开始工作并通过探测电路探测、输出气体传感数据。
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