[发明专利]一种用于电子产品制造的晶圆清洗设备

摘要

本发明涉及一种清洗设备，尤其涉及一种用于电子产品制造的晶圆清洗设备。本发明要解决的技术问题是提供一种清洗高效，安全性能高的用于电子产品制造的晶圆清洗设备。为了解决上述技术问题，本发明提供了这样一种用于电子产品制造的晶圆清洗设备，包括有底板、支杆、清洗框、出液管、阀门、支撑架、顶板、升降机构等；底板顶部中间左右对称设有支杆，支杆顶端连接有清洗框，清洗框与底板之间连接有旋转机构，清洗框左壁底部连接有出液管，出液管上设有阀门，底板顶部左右两端均设有支撑架，支撑架顶端安装有顶板，顶板底部中间安装有升降机构，升降机构底部连接有放置框。本发明达到了操作过程简单，安全性高的效果。

主权项

1.一种用于电子产品制造的晶圆清洗设备，其特征在于，包括有底板(1)、支杆(2)、清洗框(3)、出液管(4)、阀门(5)、支撑架(6)、顶板(7)、升降机构(8)、放置框(9)、隔栏(10)、风干机构(11)和旋转机构(12)，底板(1)顶部中间左右对称设有支杆(2)，支杆(2)顶端连接有清洗框(3)，清洗框(3)与底板(1)之间设置有旋转机构(12)，清洗框(3)左壁底部连接有出液管(4)，出液管(4)上设有阀门(5)，底板(1)顶部左右两端均设有支撑架(6)，支撑架(6)顶端安装有顶板(7)，顶板(7)底部中间安装有升降机构(8)，升降机构(8)底部连接有放置框(9)，放置框(9)内设有隔栏(10)，支撑架(6)内侧中间安装有风干机构(11)；升降机构(8)包括有导向板(81)、第一电机(82)、第一转轴(83)、第一轴承座(84)、卷线筒(85)、第二轴承座(86)和拉线(88)，顶板(7)底部左侧安装有导向板(81)，导向板(81)上安装有第一电机(82)，顶板(7)底部中间安装有第一轴承座(84)，顶板(7)底部右侧安装有第二轴承座(86)，第一轴承座(84)和第二轴承座(86)上设有第一转轴(83)，第一转轴(83)左端与第一电机(82)连接，第一转轴(83)上连接有卷线筒(85)，卷线筒(85)位于第一轴承座(84)和第二轴承座(86)之间，卷线筒(85)上绕有拉线(88)，导向板(81)右侧开有导向孔(87)，拉线(88)穿过导向孔(87)，并连接有放置框(9)；风干机构(11)包括有固定杆(111)、环形滑轨(112)、滑块(113)、安装座(114)、连接杆(115)、风机(116)、第二电机(117)、第二转轴(118)、齿轮(119)和内齿圈(1110)，左右支撑架(6)内侧中间均安装有固定杆(111)，固定杆(111)末端连接有环形滑轨(112)，环形滑轨(112)上滑动式连接有滑块(113)，滑块(113)内侧连接有安装座(114)，安装座(114)内侧连接有连接杆(115)，安装座(114)内端连接有风机(116)，安装座(114)顶部连接有第二电机(117)，第二电机(117)顶部连接有第二转轴(118)，第二转轴(118)上连接有齿轮(119)，环形滑轨(112)顶部连接有内齿圈(1110)，内齿圈(1110)与齿轮(119)啮合；当晶圆清洗完毕后，控制第二电机(117)转动，第二电机(117)带动齿轮(119)转动，齿轮(119)沿内齿圈(1110)内转动，齿轮(119)带动风机沿内齿圈转动，使得风机能够风干所有晶圆，当晶圆风干达标时，停止第二电机(117)转动；旋转机构(12)包括有第三电机(121)、第三转轴(122)、第三轴承座(123)、旋转叶片(124)、网板(125)和密封圈(126)，底板(1)顶部右侧安装有第三电机(121)，第三电机(121)位于两个支杆(2)之间，清洗框(3)底部中间设有第三轴承座(123)，第三轴承座(123)上设有第三转轴(122)，第三转轴(122)底端与第三电机(121)连接，第三转轴(122)顶端连接有旋转叶片(124)，清洗框(3)内壁下部安装有网板(125)，网板(125)位于旋转叶片(124)上部，第三轴承座(123)顶部设有密封圈(126)。