[发明专利]一种减压干燥腔及真空减压干燥设备有效
| 申请号： | 201710282366.6 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN107062812B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 赵德江 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;G09F9/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种减压干燥腔及真空减压干燥设备，用以提高像素内成膜的均一性，本申请提供的一种减压干燥腔，包括：腔室、设置于所述腔室内的承载部件和设置于所述腔室上的抽气孔，还包括设置于所述腔室内的整流装置；所述整流装置包括：面向所述承载部件承载待干燥基板一侧的扩散装置和位于所述扩散装置背向所述承载部件一侧的盖板；所述扩散装置与所述盖板之间通过支撑物连接且存在第一间隙，所述扩散装置中设有均匀分布的垂直所述待干燥基板的多个通孔，所述扩散装置上设有朝向所述承载部件且用于密封所述扩散装置与所述承载部件的密封圈。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散装置 承载部件 真空减压干燥 整流装置 待干燥 盖板 基板 腔室 密封圈 室内 抽气孔 均一性 支撑物 成膜 通孔 像素 申请 密封 承载 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种减压干燥腔，包括：腔室、设置于所述腔室内的承载部件和设置于所述腔室上的抽气孔，其特征在于，还包括设置于所述腔室内的整流装置；所述整流装置包括：面向所述承载部件承载待干燥基板一侧的扩散装置和位于所述扩散装置背向所述承载部件一侧的盖板；所述扩散装置与所述盖板之间通过支撑物连接且存在第一间隙，所述扩散装置中设有均匀分布的垂直所述待干燥基板的多个通孔，所述扩散装置上设有朝向所述承载部件且用于密封所述扩散装置与所述承载部件的密封圈；其中，所述抽气孔用于抽走扩散到所述第一间隙中的气体，所述扩散装置包括：面向所述承载部件承载待干燥基板一侧的第一扩散板和位于所述第一扩散板与所述盖板之间的第二扩散板；所述第一扩散板与所述第二扩散板相连，且所述第一扩散板与所述第二扩散板之间存在第二间隙，所述第一扩散板上设有均匀分布的垂直所述待干燥基板的多个第一通孔，所述第二扩散板上设有均匀分布的垂直所述待干燥基板的多个第二通孔，所述密封圈设置在所述第二扩散板上；所述第二扩散板背向所述第一扩散板一侧的表面上，且在相邻的所述第二通孔之间的间隙处设有第一氛围调节槽；所述承载部件承载所述待 干燥基板的区域的周边区域设有第二氛围调节槽。
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