[发明专利]溅射装置、溅射方法有效
| 申请号： | 201710282695.0 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN107099774B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 胡迎宾;丁远奎;刘宁;赵策;丁瑞 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 汪源;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅射装置、溅射方法，属于显示面板制备技术领域，其可解决现有的溅射装置的靶材成膜的均匀性低的问题。本发明的溅射装置，包括多个用于承载靶材的靶位，所述溅射装置还包括控制单元和多个支撑单元，所述靶位位于所述支撑单元上，所述控制单元和所述支撑单元电连接，每个所述支撑单元用于在所述控制单元的控制下使位于其上的靶位上升或下降。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溅射装置，包括多个用于承载靶材的靶位，其特征在于，所述溅射装置还包括控制单元和多个支撑单元，所述靶位位于所述支撑单元上，所述控制单元和所述支撑单元电连接，每个所述支撑单元用于在所述控制单元的控制下使位于其上的靶位上升或下降。
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