[发明专利]通过式片盒片架清洗设备

摘要

本发明涉及一种通过式摇摆干燥片盒/片架清洗设备，可用于半导体、太阳能和LED等行业内对片盒/片架清洗干燥，将片盒/片架放置在承载母篮内，由电气控制器控制清洗、干燥过程，包括了外壳、水清洗结构和气体干燥结构，由进料结构、清洗腔、干燥腔、出料结构依序组装在一起，形成设备的主体部分，在设备主体部分内部安装有输送机构、水路系统、气路系统和电气控制器。本发明通过外壳、进料结构、自动密封门、清洗腔、干燥腔、出料结构、输送机构、片盒/片架承载母篮、水路系统、气路系统和电气控制部分相互之间配合，形成一个自动化程度高的整体设备。满足半导体、太阳能和LED等行业对片盒/片架清洗的高效、洁净的要求。

主权项

1.一种通过式片盒片架清洗设备，将片盒/片架放置在承载母篮内，由电气控制器控制清洗、干燥过程，包括了外壳、水清洗结构和气体干燥结构，其特征在于：进料结构、清洗腔、干燥腔、出料结构依序组装在一起，形成设备的主体部分，在设备主体部分内部安装有输送机构、水路系统、气路系统和电气控制器，所述的输送机构二端分别连接进料结构和出料结构，中间贯通清洗腔、干燥腔，所述的承载母篮经进料结构被放置在输送机构上，清洗、干燥后被送至出料结构上，所述的清洗腔和干燥腔设在外壳内，所述的外壳为封闭结构，在清洗腔进口、清洗腔与干燥腔之间及干燥腔的出口均设密封门一、二、三和传感器；所述的水清洗结构，包括清洗腔、水清洗结构的执行机构，设在清洗腔内与水路系统连通的高压喷淋设备由该执行机构控制操作，通过高压喷淋设备清洗片盒/片架；所述的气体干燥结构，包括干燥腔和气体干燥结构的执行机构，设在干燥腔内与气路系统连通的耐温压力喷嘴由该执行机构控制操作，承载母篮随着输送机构在干燥腔内往复运动，采用喷气吹扫干燥片盒/片架，实现喷嘴无死角的吹扫，直至完全干燥；承载母篮随输送机构通过出料端密封门三时，安装在此的除静电装置被打开，以消除高温干燥给承载母篮上带来的静电；除静电的片盒/片架随着承载母篮被输送至出料结构上。