[发明专利]一种多光轴系统光轴平行度检测方法及系统有效
| 申请号： | 201710288229.3 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN106959082A | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 杨飞;安其昌;赵宏超;姜海波;郭鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B11/27 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多光轴系统光轴平行度检测方法，包括：激光器发射准直光至中转元件，经过所述中转元件后形成与主光学元件的理想光轴平行的准直光；所述准直光经所述主光学元件后，反射至所述主光学元件的焦点处，所述焦点与靶面中心重合；移动所述中转元件至各个待测子光学元件上方，所述激光器发射所述准直光经过所述中转元件以及所述待测子光学元件之后，在所述靶面上形成光斑；依次判断所述光斑是否与靶面中心重合，若否，则根据所述光斑与所述靶面中心之间的偏离距离调节所述待测子光学元件的光轴相互平行。提高多光轴系统的光轴平行度的准确性并简化检测步骤。本发明还公开一种多光轴系统光轴平行度检测系统，具有上述有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光轴 系统 平行 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种多光轴系统光轴平行度检测方法，其特征在于，包括：激光器发射准直光至中转元件，经过所述中转元件后形成与主光学元件的理想光轴平行的准直光；所述准直光经所述主光学元件后，反射至所述主光学元件的焦点处，所述焦点与靶面中心重合；移动所述中转元件至各个待测子光学元件上方，所述激光器发射所述准直光经过所述中转元件以及所述待测子光学元件之后，在所述靶面上形成光斑；依次判断所述光斑是否与靶面中心重合，若否，则根据所述光斑与所述靶面中心之间的偏离距离调节所述待测子光学元件的光轴相互平行。
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