[发明专利]一种掩膜板及其张网装置、方法有效
| 申请号： | 201710295129.3 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107142450B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 刘文崧 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 201201 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种掩膜板及其张网装置、方法，用以提高掩膜板张网精度，提升掩膜板张网质量。本申请实施例提供的一种掩膜板张网装置包括包括用于向沿掩膜板的第一方向延伸的两端施加拉力的第一部件，和用于向沿掩膜板的第二方向延伸的两端施加拉力的第二部件，其中，所述第一方向和所述第二方向确定所述掩膜板所在的面。采用本申请实施例提供的张网装置进行掩膜板张网工艺，对掩膜板可以施加不止一个方向的拉力，即可以实现二维张网，从而避免只沿一个方向拉伸掩膜板造成的掩膜板出现收缩而造成褶皱，从而可以提高掩膜板张网精度，进而可以提升掩膜板张网质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 及其 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板张网装置，其特征在于，所述掩膜板张网装置用于对条状掩膜板进行张网；所述装置包括用于向沿掩膜板的第一方向延伸的两端施加拉力的第一部件，和用于向沿掩膜板的第二方向延伸的两端施加拉力的第二部件，其中，所述第一方向和所述第二方向确定所述掩膜板所在的面；所述第一部件和/或所述第二部件包括至少两个电磁体部件；所述装置还包括用于控制所述电磁体部件沿所述第一方向、所述第二方向和第三方向移动的控制部件，其中，所述第三方向垂直于所述掩膜板所在的面；所述电磁体部件还用于：在所述控制部件控制下沿所述第三方向移动，使得所述掩膜板与用于支撑所述掩膜板的掩膜板支架接触，以及在所述掩膜板与所述掩膜板支架焊接的步骤中作为所述掩膜板与所述掩膜板支架焊接的固定单元。
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