[发明专利]一种高硬耐磨抗热冲击的厚钽涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201710298701.1 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN107130212B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 陈明辉;王群昌;王福会 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35 |
| 代理公司： | 21234 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及耐磨涂层领域，特别提供一种高硬耐磨抗热冲击的厚钽涂层及其制备方法。该钽涂层成分为100％的α相钽，具有较高的韧性。同时，在体心立方晶格的α相钽中固溶微量的氮原子，提高钽涂层的硬度及弹性模量，从而提高涂层的耐磨与抗热冲击性能。钽涂层的最终厚度可以达到60μm以上。本发明提供的高硬耐磨抗热冲击厚钽涂层的制备方法为氩气+氮气环境下的磁控溅射。以纯钽为靶材，在一定的真空度下，以氩气(Ar)和氮气(N | ||
| 搜索关键词： | 钽涂层 耐磨 抗热冲击 制备 氩气 弹性模量 基体材料表面 抗热冲击性能 体心立方晶格 氮气 磁控溅射 氮气环境 溅射气体 耐磨涂层 直接沉积 综合性能 氮原子 高韧性 高硬度 纳米晶 靶材 纯钽 固溶 | ||
【主权项】：
1.一种高硬耐磨抗热冲击的厚钽涂层的制备方法，其特征在于：所述厚钽涂层为纯钽涂层，纯钽涂层结构为体心立方晶格的α相，纯钽涂层的厚度为10～60μm；/n在基体材料表面制备纯钽涂层，制备该厚钽涂层采用的方法是磁控溅射，采用氩气和氮气混合气体作为溅射气体，通过氮原子的固溶，提高α-Ta的硬度；同时，降低α-Ta涂层与基体不锈钢之间的热物理性能不匹配度，提高Ta涂层的耐磨以及抗热冲击性能；/n所述的高硬耐磨抗热冲击的厚钽涂层的制备方法，磁控溅射的具体工艺参数为：/n真空度：P﹤6×10
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东北大学，未经东北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710298701.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：动能吸收装置以及包括该装置的飞机
- 下一篇：新风机的节能控制系统及运行方法
- 同类专利
- 专利分类
