[发明专利]检查装置、检查系统和物品制造方法在审
| 申请号： | 201710299889.1 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107340297A | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 松田英树;植村卓典 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种检查装置、检查系统和物品制造方法。一种用于执行物体的检查的检查装置，该装置包括被配置为对物体进行照明的照明设备，被配置为对由照明设备照明的物体进行成像的成像设备，以及被配置为基于由成像设备所获得的图像执行用于检查的处理的处理器。处理器被配置为基于在照明设备用具有第一波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第一图像和在照明设备用具有不同于第一波长的第二波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第二图像执行处理。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 系统 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于执行物体的检查的检查装置，该装置包括：照明设备，被配置为对物体进行照明；成像设备，被配置为对由照明设备照明的物体进行成像；以及处理器，被配置为基于由成像设备所获得的图像执行用于检查的处理，其中处理器被配置为基于在照明设备用具有第一波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第一图像和在照明设备用具有不同于第一波长的第二波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第二图像执行所述处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710299889.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
