[发明专利]一种面状曝光系统及曝光部件在审
| 申请号： | 201710300864.9 | 申请日： | 2017-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN106873317A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 霍永峰 | 申请（专利权）人： | 成都恒坤光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所51221 | 代理人： | 王芸,庞启成 |
| 地址： | 610200 四川省成都市双*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及紫外光应用技术领域，具体涉及一种面状曝光系统及曝光部件，所述面状曝光系统，包括光源组件，所述光源组件在曝光面内形成有面状光斑，所述光源组件存在有至少一条移动轨迹，以及存在有至少一个曝光行程，所述面状光斑对应的照射区域中存在有至少一个有效曝光区域，当所述光源组件沿所述移动轨迹移动一个所述曝光行程时，所述有效曝光区域内的任意一点或任意一区域的光照能量积分差值小于10%。本申请的面状曝光系统，保证了进行曝光工作时，待曝光区域中各个位置被曝光的均匀性，保证良好的曝光效果；而且，还进一步的消除了因光斑单元内部辐照强度不均匀而导致曝光不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 系统 部件 | ||
【主权项】：
一种面状曝光系统，其特征在于：包括光源组件，所述光源组件在曝光面内形成有面状光斑，所述光源组件存在有至少一条移动轨迹，以及存在有至少一个曝光行程，所述面状光斑对应的照射区域中存在有至少一个有效曝光区域，当所述光源组件沿所述移动轨迹移动一个所述曝光行程时，所述有效曝光区域内的任意一点或任意一区域的光照能量积分，积分后在有效曝光区域内任意一点或任意一区域的光照能量积分差值小于10%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都恒坤光电科技有限公司，未经成都恒坤光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710300864.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
