[发明专利]一种电解反应系统、酸性蚀刻液再生及提铜工艺在审
| 申请号： | 201710301200.4 | 申请日： | 2017-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN107059012A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 章平传 | 申请（专利权）人： | 广州合凯环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司11616 | 代理人： | 戴翔 |
| 地址： | 511400 广东省广州市番禺*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及电镀技术领域，具体涉及一种电解反应系统、酸性蚀刻液再生及提铜工艺。本发明的电解反应系统，包括电解槽，电解槽内设置用于放置阴极板的阴极室和用于放置阳极板的阳极室，所述阳极室采用阳离子膜包围，所述阳离子膜使得阴极室和阳极室相互隔离；所述阴极室内容置蚀刻废液，阳极室内容置稀硫酸。还公开了采用上述电解反应系统进行酸性蚀刻液再生及提铜工艺。本发明由于阳离子膜的存在，Cl‑无法实现向阳极的迁移，因此在阳极不会放电形成氯气，再生的蚀刻液中无需重新补充氯离子；同时，本发明整个操作过程做仅需补充的是水，系统无需补充其他吸收装置及吸收材料，工艺过程更环保节能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电解 反应 系统 酸性 蚀刻 再生 工艺 | ||
【主权项】：
一种电解反应系统，其特征在于，电解槽，电解槽内设置用于放置阴极板的阴极室和用于放置阳极板的阳极室，所述阳极室采用阳离子膜包围，所述阳离子膜使得阴极室和阳极室相互隔离；所述阴极室内容置蚀刻废液，阳极室内容置稀硫酸。
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