[发明专利]探针卡系统、探针载体装置及探针载体装置的制法有效
| 申请号： | 201710302717.5 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN108802443B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 廖致傑;孙育民;程志丰 | 申请（专利权）人： | 创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种探针卡系统、探针载体装置及探针载体装置的制法。探针载体装置包括一载板、一立体阶梯结构与一探针模块。立体阶梯结构连接载板。探针模块包含多数个探针层。这些探针层间隔地层叠于立体阶梯结构内。每一探针层包含多数个悬臂式探针。这些探针层的悬臂式探针分别从立体阶梯结构的不同阶状体伸出，用以分别触压一待测物的多数个导电接点。各悬臂式探针伸出立体阶梯结构的部分具有一力矩长度，不同探针层的这些悬臂式探针的力矩长度彼此相同。如此，通过对待测物的不同导电接点施以相同压力，降低探针卡装置再次配置于其他待测物上的困难度。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 系统 载体 装置 制法 | ||
【主权项】：
1.一种探针载体装置，其特征在于，包括：一载板；至少一立体阶梯结构，连接该载板，包含多数个阶状体，所述多数个阶状体朝远离该载板的方向依序递减；以及至少一探针模块，包含多数个探针层，所述多数个探针层间隔地层叠于该立体阶梯结构内，每一所述探针层包含多数个并排的悬臂式探针，所述探针层的所述多数个悬臂式探针分别从不同的所述阶状体伸出该立体阶梯结构，用以分别触压一待测物的多数个导电接点，其中每一所述悬臂式探针伸出该立体阶梯结构的部分具有一力矩长度，所述探针层的所述多数个悬臂式探针的所述力矩长度彼此相同。
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