[发明专利]pMUT及pMUT换能器阵列的电极配置有效
| 申请号： | 201710305709.6 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107394036B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 亚维克·纳斯·查特基;拉盖·库马;杰米·夫卡司;马特斯·汤马士·马拉克 | 申请（专利权）人： | 新加坡商世界先进积体电路私人有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L27/20;B06B1/06;G01H11/08 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及pMUT及pMUT换能器阵列的电极配置，根据本文所述例示性具体实施例所提供的是各具有第一电极的压致微机械超音波换能器(pMUT)，该第一电极包括第一电极部与第二电极部。该第二电极部可与该第一电极部分别操作。第二电极与该第一电极隔开并且在该第一电极与该第二电极间界定空间。压电材料设置于该空间中。还提供的是pMUT的阵列，其中个别pMUT具有可与阵列诸列操作性联结的第一电极部、以及可与阵列诸行操作性联结的第二电极部。 | ||
| 搜索关键词： | pmut 换能器 阵列 电极 配置 | ||
【主权项】：
一种压电微机械超音波换能器(pMUT)，其包含：第一电极，其具有第一电极部及第二电极部，该第二电极部可与该第一电极部分开操作，第二电极，其与该第一电极隔开，并且在该第一电极与该第二电极间界定空间，以及压电材料，其是设置于该空间中。
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