[发明专利]基于分段传送的连续式线型磁控溅射镀膜机

摘要

本发明公开一种基于分段传送的连续式线型磁控溅射镀膜机，包括进样室段、镀膜段、出样室段；进样室段与镀膜段之间设有真空隔离装置，镀膜段与出样室段之间也设有真空隔离装置；进样室段、镀膜段、出样室段均设有样片输送装置，各段中的样片输送装置独立运行，且位于上段中的样片输送装置截止于两段之间的真空隔离装置处，位于下段中的样片输送装置起始于两段之间的真空隔离装置处；进样室段、出样室段均设有样片装载/卸载装置；镀膜段设有加热装置。本发明通过采用链条传动机构，大大减少了真空室壁上的穿孔数量，有效防止泄漏；采用真空隔离措施，有效保障了镀膜段的真空度；采用在线加热装置，可以实现梯度升温。

主权项

1.一种基于分段传送的连续式线型磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述镀膜机包括三个接续性的真空室段，分别为进样室段、镀膜段、出样室段；所述进样室段与镀膜段之间设有真空隔离装置，所述镀膜段与出样室段之间也设有真空隔离装置；所述进样室段、镀膜段、出样室段均设有样片输送装置，各段中的样片输送装置独立运行，且位于上段中的样片输送装置截止于两段之间的真空隔离装置处，位于下段中的样片输送装置起始于两段之间的真空隔离装置处；所述进样室段、出样室段均设有样片装载/卸载装置；所述镀膜段设有加热装置；其中，所述样片输送装置，包括链条驱动电机、传动机构、链驱动轴、轴上链轮、链条，链条驱动电机与传动机构驱动连接，所述传动机构与链驱动轴驱动连接，所述链驱动轴上套设轴上链轮，所述轴上链轮啮合链条，所述链条有两根，平行设置，同步运动，共同支撑样片托盘；所述样片装载/卸载装置为一电机带动的动态连续装载/卸载的装置。