[发明专利]一种可柔性变倍的离轴数字全息测量装置

摘要

摘要本发明涉及一种可柔性变倍的离轴数字全息测量装置，技术特征在于水平放置的激光器1产生的激光束后经过第一反射镜2进行反射改变光路为竖直方向，然后进入扩束准直单元3，经过第二反射镜4再次反射改变光路为水平，经过电控变焦透镜5和显微物镜6后射入分光镜7，进而产生两束光波；其中一束光波经平面镜8反射后作为参考光进入成像设备10；另一束光波经被测物体9表面反射后作为物光进入成像设备10；调节平面镜8可控制参考光与物光的夹角，使物光与参考光干涉产生离轴数字全息图并由成像设备10记录；最后采用数值重构算法计算得到被测物体的信息。该装置所采用电控变焦透镜5，具有柔性变焦功能，避免了机械移动，在系统放大倍率的调节过程中，极大地提升了调节的速度和准确度，且结构紧凑、稳定，可用于微光学元件、微电子机械系统和微光机电系统等组件的三维形貌测量。

主权项

一种可柔性变倍的离轴数字全息测量装置，其特征在于，包括激光器1、第一反射镜2、扩束准直单元3、第二反射镜4、电控变焦透镜5、显微物镜6、分光镜7、平面镜8、成像设备10以及计算机11；所述电控变焦透镜5、显微物镜6、分光镜7和平面镜8构成同轴光学系统；被测物体9中心、分光镜7中心和成像设备10中心在同一竖直线上；工作原理如下：激光器1产生激光，激光通过第一反射镜2后进入至扩束准直单元3；经扩束准直单元3后形成的平行光通过第二反射镜4后再次反射至电控变焦透镜5；此时平行光经电控变焦透镜5和显微物镜6组成的光学系统后进入分光镜7，随后被分成两束光波；其中一束光波经平面镜8反射后作为参考光进入成像设备10；另一束光波经被测物体9表面反射后作为物光进入成像设备10；调节平面镜8来控制参考光与物光的夹角，使物光与参考光干涉产生一幅离轴数字全息图并由成像设备10记录；最后通过数值重构算法计算得到被测物体的相位信息。