[发明专利]化学放大型正型感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201710310288.6 | 申请日： | 2017-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN107390472B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 海老泽和明;山本悠太 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供化学放大型正型感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的带铸模的基板的制造方法和使用该带铸模的基板的镀覆造形物的制造方法，其中，使用所述化学放大型正型感光性树脂组合物，在具有金属表面的基板的金属表面上形成成为镀覆造形物的铸模的抗蚀剂图案的情况下，能够抑制在非抗蚀剂部底部(支承体表面侧)的宽度比顶部(抗蚀剂层的表面侧)的宽度窄的“底脚”的产生、金属基板表面的改性、和显影残渣的产生。使包含(A)通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂、(B)通过酸的作用而对于碱的溶解性增大的树脂的化学放大型正型感光性树脂组合物含有特定结构的巯基化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
一种化学放大型正型感光性树脂组合物，其含有：(A)通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂、(B)通过酸的作用而对于碱的溶解性增大的树脂、和(C)下述式(1)所表示的巯基化合物，HS‑Y‑(R)u…(1)式中，R表示通过酸的作用而对于碱的溶解性增大的酸分解性基团，Y表示u+1价的连接基团，u表示1～3的整数。
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