[发明专利]一种点光源异位式马赫‑曾德尔干涉仪测量装置及方法在审
| 申请号： | 201710311421.X | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN107121205A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 陈磊;丁煜;朱文华;韩志刚;郑东晖;郑权;张瑞;孙沁园;乌拉雅图 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心32203 | 代理人： | 薛云燕 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种点光源异位式马赫‑曾德尔干涉仪测量装置及方法。该装置包括点光源、分光组件、主干涉仪和分光成像组件。方法为首先由点光源发出球面波，分光组件将一个点光源复制成四个相同的点光源，然后通过调整四个点光源在主干涉仪的准直物镜焦面上与光轴的距离，在参考面与测试面的干涉中引入相应的相移量，最后通过分光成像组件在一个CCD上同时获取四幅成像清晰的相移干涉图。本发明具有成本低、抗震性好、对比度好、易于操作的特点，可以用于气流密度变更的测量领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光源 异位式 马赫 曾德尔 干涉仪 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种点光源异位式马赫‑曾德尔干涉仪测量装置，其特征在于，包括顺次设置的点光源(1)、分光组件(2)、主干涉仪(7)和分光成像组件(14)，其中：所述点光源(1)发出球面波，分光组件(2)将点光源(1)复制成四个相同的点光源，然后通过调整四个点光源在主干涉仪(7)的准直物镜焦面上与光轴的距离，在参考面与测试面的干涉中引入相应的相移量，最后通过分光成像组件(14)在一个CCD上同时获取四幅成像清晰的相移干涉图。
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