[发明专利]一种铟镓锌氧化物粉体的制备方法

摘要

本发明公开了一种铟镓锌氧化物粉体的制备方法，其包括如下步骤首先配置镓盐溶液、铟盐溶液和锌盐溶液；然后使用不含碱金属的碱液作为沉淀剂，并采用三步沉淀法分别使所述镓盐溶液、铟盐溶液以及锌盐溶液中的镓离子、铟离子、锌离子在不同pH值下先后沉淀，以制备铟镓锌氧化物前驱体粉体；最后将制备的所述铟镓锌氧化物前驱体粉体经洗涤、过滤、干燥、退火后制成获得高纯单相铟镓锌氧化物粉体InGaZnO4。本发明可制备具有高烧结活性和高纯度的单相InGaZnO4粉体，为制备高质量IGZO靶材提供了优质的原料。

主权项

一种铟镓锌氧化物粉体的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：首先配置彼此独立的镓盐溶液、铟盐溶液和锌盐溶液，所述镓盐溶液、铟盐溶液和锌盐溶液中的金属镓、铟、锌的摩尔比为1:1:1～1:1:2；然后使用不含碱金属的碱液作为沉淀剂，并采用三步沉淀法分别使所述镓盐溶液、铟盐溶液以及锌盐溶液中的镓离子、铟离子、锌离子在不同pH值下先后独立沉淀，以制备铟镓锌氧化物前驱体粉体；所述三步沉淀法的反应温度控制在0～10℃，其具体为：(1)首先采用双滴法同时滴定镓盐溶液与碱液，以调节该镓盐溶液与碱液形成的反应溶液的pH值至4.2～4.5，从而使镓盐溶液中的镓离子先沉淀；(2)接着采用双滴法同时滴定铟盐溶液与碱液至步骤(1)的溶液中，以调节溶液pH值至4.6～4.8，从而使铟盐溶液中的铟离子沉淀；(3)最后采用双滴法同时滴定锌盐溶液与碱液至步骤(2)的溶液中，以调节溶液pH值至8～8.5，从而使锌盐溶液中的锌离子沉淀，三步沉淀法中的每一步均利用双滴法分别滴定沉淀剂碱液以及所配置的金属盐溶液，以保证沉淀过程中金属离子混合充分且均匀沉淀，进而保证制备出具有精确化学计量比的单相铟镓锌氧化物粉体；最后将制备的所述铟镓锌氧化物前驱体粉体经洗涤、过滤、干燥、退火后获得高纯单相的无碱金属杂质的烧结活性高的且具有精确铟镓锌含量的铟镓锌氧化物粉体InGaZnO4，该铟镓锌氧化物粉体InGaZnO4的一次颗粒为尺寸小于100nm的等轴状。