[发明专利]用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备

摘要

本发明涉及用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备。根据一示例性实施例，一种真空转移设备可包括：真空腔；二维样品驱动模块，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的二维驱动杆，所述二维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第一样品；以及四维样品驱动模块，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的四维驱动杆，所述四维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第二样品，其中，所述二维驱动杆能在二维平面内调整所述第一样品的位置，所述四维驱动杆能在三维空间内调整所述第二样品的位置，并且能绕与所述二维平面垂直的轴旋转所述第二样品，从而使所述第一样品与所述第二样品彼此贴附在一起。

主权项

1.一种真空转移设备(100)，包括：真空腔(10)，包括腔体(12)；二维样品驱动模块(30)，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的二维驱动杆(35)，所述二维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第一样品；以及四维样品驱动模块(50)，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的四维驱动杆(57)，所述四维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第二样品，其中，所述二维驱动杆能在二维平面内调整所述第一样品的位置，所述四维驱动杆能在三维空间内调整所述第二样品的位置，并且能绕与所述二维平面垂直的轴旋转所述第二样品，从而使所述第一样品与所述第二样品彼此贴附在一起；所述真空腔还包括形成在所述腔体上的一个或多个观察窗，并且至少一个观察窗用于连接到显微镜以通过显微镜观察所述第一样品和所述第二样品的位置；且所述腔体(12)上形成有第一接口(13)和第二接口(14)，所述第一接口(13)用于安装所述四维样品驱动模块，所述第二接口(14)用于安装所述二维样品驱动模块，所述第一接口(13)和所述第二接口(14)分别设置在所述腔体(12)的上下表面上并且错开一距离，用于连接到显微镜的所述至少一个观察窗设置在所述腔体的所述第二接口一侧并且对准所述第一接口。