[发明专利]超高精度倾斜测试平台

摘要

本发明公开了一种超高精度倾斜测试平台，涉及地学仪器的倾斜测试技术。本平台包括本平台包括PC控制器、第1光栅尺测量机构、第2光栅尺测量机构、第1底座、第2底座、第1力平衡装置、第2力平衡装置、第3光栅尺测量机构、直线电机驱动机构、平台面板、定位基座和第3力平衡装置；PC控制器分别与直线电机驱动机构、第1光栅尺测量机构、第2光栅尺测量机构、第1底座和第3光栅尺测量机构连接，PC控制器采集第1光栅尺测量机构、第2光栅尺测量机构和第3光栅尺测量机构的探针位移信号，同时PC控制器控制直线电机驱动机构、第1底座、第2底座的步进电机运动。本发明适用于倾斜平台测试，完成仪器的检测和校准工作。

主权项

一种超高精度倾斜测试平台，其特征在于：包括PC控制器（1）、第1光栅尺测量机构（2）、第2光栅尺测量机构（3）、第1底座（4）、第2底座（5）、第1力平衡装置（6）、第2力平衡装置（7）、第3光栅尺测量机构（8）、直线电机驱动机构（9）、平台面板（10）、定位基座（11）和第3力平衡装置（12）；其位置和连接关系是：在平台面板（10）的左侧下方设置有第1底座（4）和第2底座（5），在平台面板（10）的下方右侧中间位置设置有直线电机驱动机构（9），第1底座（4）、第2底座（5）和直线电机驱动机构（9）都设置在定位基座（11）上；在平台面板（10）左侧对称设置有第1光栅尺测量机构（2）和第2光栅尺测量机构（3），在平台面板（10）的右侧中间位置设置有第3光栅尺测量机构（8），第1光栅尺测量机构（2）、第2光栅尺测量机构（3）和第3光栅尺测量机构（8）的探针（22）分别与平台面板（10）的上表面接触，第1光栅尺测量机构（2）和第2光栅尺测量机构（3）通过测量座设置在定位基座（11）上，第3光栅尺测量机构（8）通过龙门底座（81）设置在定位基座（11）上；在平台面板（10）的下方前后两侧位置分别设置有第1力平衡装置（6）、第2力平衡装置（7），在平台面板（10）左侧设置有第3力平衡装置（12），第1力平衡装置（6）、第2力平衡装置（7）和第3力平衡装置（12）上端的钢珠与平台面板（10）的端盖滑动连接，第1力平衡装置（6）、第2力平衡装置（7）和第3力平衡装置（12）的底座设置在定位基座（11）上；PC控制器（1分）别与直线电机驱动机构（9）、第1光栅尺测量机构（2）、第2光栅尺测量机构（3）、第1底座（4）和第3光栅尺测量机构（8）连接，PC控制器（1）采集第1光栅尺测量机构（2）、第2光栅尺测量机构（3）和第3光栅尺测量机构（8）的探针（22）位移信号，同时PC控制器（1）控制直线电机驱动机构（9）、第1底座（4）、第2底座（5）的步进电机（42）运动。