[发明专利]TiCN/CrCN纳米多层膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201710324777.7 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN107058943A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 杨田林;李方正;杨浩志;辛艳青;王昆仑;宋淑梅 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/34;C23C28/00 |
| 代理公司： | 威海科星专利事务所37202 | 代理人： | 于涛 |
| 地址： | 264200 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TiCN/CrCN纳米多层膜及其制备方法，属于薄膜材料领域。本发明采用多弧离子镀技术，在硬质合金基体上首先沉积金属过渡层Ti和陶瓷过渡层TiN,最后交替沉积TiCN与CrCN薄膜，在调制周期为TiCN为15‑20nm，CrCN为5‑10nm时，实现超晶格结构。该薄膜总厚度在1.5‑4μm，硬度可达39.03GPa，附着力可达45.32N，摩擦因数最低为0.137，且耐腐蚀性优良，可以镀制在切削刀具的表面，改善其工作性能，延长刀具的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | ticn crcn 纳米 多层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种TiCN/CrCN纳米多层膜，其特征在于设有Ti过渡层、TiN过渡层和纳米尺度的TiCN/ CrCN薄膜，其中，TiCN与CrCN交替沉积形成TiCN/ CrCN薄膜，Ti过渡层、TiN过渡层和TiCN/ CrCN薄膜从基体到涂层表面依次沉积形成超晶格纳米多层膜。
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