[发明专利]多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法

摘要

本发明公开了一种多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法，在PZT实现相移的多波长干涉测量中，由于PZT的非线性和迟滞性而带来的各波长测量起点位置不一致的问题，需要对相移起点位置进行对齐，现有方法起点对齐精度的不高，影响测量结果。本发明在粗对齐的基础上，寻找同时满足三种条件的零级干涉条纹点：单波长初相位很小、近波长相位差很小、远波长相位差很小。根据找到的零级干涉条纹上的点，利用算法对各波长粗对齐的初相位进行进一步精对齐，实现各波长相移起点位置高精度对齐，从而提高测量精度。解决了在多波长干涉测量过程中由于初相位对齐精度不高而带来的测量误差，极大地提高了后续测量结果的精度和可靠性。

主权项

1.一种多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：利用PZT实现相移，得到λ1，λ2，λ3三种波长干涉图样；步骤2：根据干涉图样得到各个波长粗对齐的初相位计算近波长相位差远波长相位差其中x,y表示干涉图样中像素点的横纵坐标值；步骤3：根据单波长相位差近波长相位差远波长相位差制定零级干涉条纹的相位判断条件，找出满足条件的所有点；所述零级干涉条纹是指在如下的被测形貌高度h(x,y)表达式中：将高度h(x,y)分h1(x,y)和h0(x,y)两部分，分别对应波长的mi级数倍和零级干涉条纹的高度，经过粗对齐后能够保证mi的准确性；对于零级干涉，其级次m_i＝0，相应的作为λ_i的零干涉条纹分量，具有如下关系：所述零级干涉条纹的相位判断条件是：单波长相位差很小的点，两个近波长相位差很小的点，两个远波长相位差也很小的点，且三个条件同时满足；对于确定的波长λ₁，λ₂，λ₃，相位差很小的限制条件取明确的算术值；步骤4：根据满足零级干涉条纹所有点的相位，将λ2，λ3对应的初相位相对λ1的初相位进行对齐，使得三种波长的相移起点位置一致；步骤5：根据对齐后的相位值进行表面形貌高度计算。