[发明专利]一种加强型结构的MEMS图像传感器像元在审
| 申请号： | 201710327901.5 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN106989829A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 赵照 | 申请（专利权）人： | 合肥芯福传感器技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10;G01J5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种加强型结构的MEMS图像传感器像元，包括微桥、桥墩和衬底，所述微桥包括桥面和桥臂，所述桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上，并通过桥墩将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路，其中，所述桥臂的横截面为T型加强结构。本发明的像元桥臂采用T型加强结构，桥臂的结构改进能够显著提高像元的抗冲击能力，适用于需要高冲击耐受力的专业领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加强型 结构 mems 图像传感器 | ||
【主权项】：
一种加强型结构的MEMS图像传感器像元，包括微桥、桥墩和衬底，所述微桥包括桥面和桥臂，所述桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上，并通过桥墩将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路，其特征在于：所述桥臂的横截面为T型加强结构。
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