[发明专利]一种LED外延片及其制备方法在审
申请号: | 201710329563.9 | 申请日: | 2017-05-11 |
公开(公告)号: | CN107170864A | 公开(公告)日: | 2017-09-15 |
发明(设计)人: | 肖稼凯;李述体 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/14;H01L33/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 510006 广东省广州市天河区中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及光电材料制备领域,特别是一种LED外延片,包括依次叠置的衬底、氮化镓缓冲层、N型氮化镓层、铝镓氮/氮化镓多量子阱层、电子阻挡层、P型铝镓氮层、P型接触层、P型电极;所述的P型铝镓氮层为Mg掺杂的多层极化诱导AlxGa1‑xN层,x=0.3→0.05。本发明的目的在于解决现有技术中由LED中由于自发和压电极化引起的电子泄漏、辐射复合几率较低导致的发光效率低、内量子效率低等技术问题,本发明具有结构简单、工艺简便,生产方便,适于工业化生产的需要的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 led 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种LED外延片,其特征在于:包括依次叠置的衬底、氮化镓缓冲层、N型氮化镓层、铝镓氮/氮化镓多量子阱层、电子阻挡层、P型铝镓氮层、P型接触层、P型电极;所述的P型铝镓氮层为Mg掺杂的多层极化诱导AlxGa1‑xN层,x=0.3→0.05。
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