[发明专利]一种阵列式微细阶梯槽的电火花加工方法有效
| 申请号： | 201710330837.6 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN108856918B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 吴烨娴;夏雁鸣;马盛林;陈兢 | 申请（专利权）人： | 苏州含光微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | B23H1/00 | 分类号： | B23H1/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 | 代理人： | 邱晓锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种阵列式微细阶梯槽的电火花加工方法。该方法首先制备大小不同图形的微细阵列电极，然后分别采用所述大小不同图形的微细阵列电极对工件进行不同深度的电火花加工，形成微细阵列的阶梯槽。所述阶梯槽的台阶数目大于等于2个，不同图形的数目与阶梯槽的台阶数相对应。进一步还可通过增加完全相同图形的微细阵列电极进行电极损耗补偿。本发明能够通过微细电火花技术完成阵列的N(N≥2)阶的微细阶梯槽加工，并能通过补偿电极损耗的方式保证阶梯槽的垂直度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 式微 阶梯 电火花 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种阵列式微细阶梯槽的2.5D电火花加工方法，其特征在于，首先制备大小不同图形的微细阵列电极，然后分别采用所述大小不同图形的微细阵列电极对工件进行不同深度的电火花加工，形成微细阵列的阶梯槽。
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