[发明专利]腔室清洁系统有效
| 申请号： | 201710332832.7 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN107424896B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 韩奎龙;刘大日;姜奉锡;金明珍 | 申请（专利权）人： | STI有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;刘久亮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种包括腔室和管的腔室清洁系统，所述管与腔室的主体的顶表面的内侧与主体的侧表面相遇的位置相邻安装，其中，所述管具有在所述管的长度方向上按照预定间隔形成在所述管的外周表面的面向顶表面和侧表面的位置处的多个喷孔。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 系统 | ||
【主权项】：
1.一种腔室清洁系统，该腔室清洁系统包括：/n管，所述管喷射清洁流体并且与腔室的主体的顶表面的内侧与所述主体的四个侧表面的内侧相遇的位置相邻安装，其中，/n所述管具有在所述管的长度方向上按照预定间隔形成在所述管的外周表面的面向所述顶表面和所述侧表面的位置处的多个喷孔。/n
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