[发明专利]一种全无机固态电致变色器件用电解质薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201710333860.0 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN107022746B | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 刁训刚;肖宇;王群华;董国波;刘江;吉顺青;叶书兵 | 申请（专利权）人： | 江苏繁华玻璃股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226600 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种全无机固态电致变色器件用电解质薄膜的制备方法，该制备方法具体步骤如下：以LiMg合金作为靶材，并将清洗备用的衬底基片置于溅射腔室内的样品旋转台上，溅射腔室内预抽真空度＜1.0×10‑4Pa；将氩气与氧气充分混合后通入溅射腔室内至溅射工作气压0.3～1Pa，混合气体中氮气和氩气的流量比控制在10%～50%；在样品旋转台旋转工作、脉冲直流电源占空比为40%～80%、溅射功率密度控制在3W/cm2以下，靶基距离为6～12cm，溅射60～120min，溅射成LiMgN薄膜。本发明的优点在于：本发明采用脉冲直流反应磁控溅射制备无机固态锂离子电解质LiMgN薄膜，使得连续、在线、大面积工业化生产电致变色玻璃成为可能。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 无机固态 溅射腔 溅射 电致变色器件 电解质薄膜 氩气 室内 薄膜 氮气 电致变色玻璃 反应磁控溅射 脉冲直流电源 锂离子电解质 衬底基片 充分混合 工作气压 混合气体 溅射功率 脉冲直流 密度控制 预抽真空 流量比 旋转台 占空比 靶材 靶基 备用 氧气 合金 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种全无机固态电致变色器件用电解质薄膜的制备方法，其特征在于：所述电解质薄膜为LiMgN薄膜，所述制备方法采用脉冲直流反应磁控溅射方法，具体步骤如下：以LiMg合金作为靶材，并将清洗备用的衬底基片置于溅射腔室内的样品旋转台上，LiMg合金靶与衬底基片平行相对放置，溅射腔室内预抽真空度＜1.0×10‑4Pa；将氩气与氮气充分混合后通入溅射腔室内至溅射工作气压0.3～1Pa，混合气体中氮气和氩气的流量比控制在10%～50%；在样品旋转台旋转工作、脉冲直流电源占空比为40%～80%、溅射功率密度控制在3W/cm2以下，靶基距离为6～12cm，溅射60～120min，溅射成LiMgN薄膜。
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