[发明专利]一种等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物在审
申请号: | 201710334655.6 | 申请日: | 2017-05-12 |
公开(公告)号: | CN107216933A | 公开(公告)日: | 2017-09-29 |
发明(设计)人: | 黄福川;胡雄风;李康春;邓富康;赵金城 | 申请(专利权)人: | 广西大学 |
主分类号: | C10M169/04 | 分类号: | C10M169/04;C10N30/10;C10N30/12;C10N30/18;C10N40/02;C10N30/06 |
代理公司: | 广西南宁公平知识产权代理有限公司45104 | 代理人: | 黄春莲 |
地址: | 530004 广西壮族*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明公开了一种等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物,采用质量比50%的氟氯碳油和50%的聚三氟氯乙烯油复合作为全合成复合基础油,配合抗氧防腐剂和抗氧防锈剂。本发明的组合物具有良好的热氧化安定性、抗氧性、密封材料相溶性、低温流动和扩散性、抗泡、抗乳化、抗氧防腐、防锈蚀性、抗辐射、抗强电磁场等性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 等离子 刻蚀 真空 系统 轴承 工作液 组合 | ||
【主权项】:
一种等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物,其特征在于:采用质量比50%的氟氯碳油和50%的聚三氟氯乙烯油复合作为全合成复合基础油,配合抗氧防腐剂和抗氧防锈剂,其各自质量百分数的成分组成为:组分质量百分比含量基础油余量抗氧防腐剂0.5%~1.5%抗氧防锈剂0.2%~0.6%以上各组分的质量百分比含量为100%。
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