[发明专利]微机电系统装置及用于其的背板

摘要

本发明涉及一种微机电系统装置及用于其的背板。用于微机电系统(MEMS)装置的系统和设备。MEMS装置包括隔膜和背板，该背板与隔膜间隔开一定距离，在它们之间形成有气隙。所述背板包括面向隔膜的第一表面和背对隔膜的相反的第二表面。背板的第一表面和相反的第二表面协同限定延伸穿过背板的多个通孔，所述多个通孔允许来自气隙的空气从其流过。所述多个通孔中的每一个包括沿着第一表面设置的第一孔、沿着相反的第二表面设置的第二孔、以及在第一表面与相反的第二表面之间延伸的侧壁。所述第一孔和所述第二孔具有不同的尺寸。

主权项

一种微机电系统MEMS装置，所述MEMS装置包括：隔膜；背板，所述背板与所述隔膜间隔开一定距离，在所述背板与所述隔膜之间形成有气隙，所述背板包括：第一表面，所述第一表面面向所述隔膜；以及相反的第二表面，所述相反的第二表面背对所述隔膜；其中，所述背板的所述第一表面和所述相反的第二表面协同限定多个通孔，所述多个通孔延伸穿过所述背板以允许来自所述气隙的空气流过所述多个通孔；其中，所述多个通孔中的每一个通孔包括沿着所述第一表面设置的第一孔、沿着所述相反的第二表面设置的第二孔、以及在所述第一表面与所述相反的第二表面之间延伸的侧壁；并且其中，所述第一孔和所述第二孔具有不同的尺寸。