[发明专利]一种基于PDMS模板的沟槽阵列电解加工系统及方法在审
| 申请号： | 201710346613.4 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107186298A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 周璇;侯志保;曲宁松 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B23H3/04 | 分类号： | B23H3/04;B23H3/10;B23H9/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于PDMS模板的沟槽阵列电解加工系统及方法，其中方法包括a、制作夹具，b、制作带有沟槽结构的阴极工具；c、制作PDMS模板；c、将PDMS模板嵌入阴极工具的沟槽中；d、装夹PDMS模板、阴极工具和阳极工件；d、阳极工件和阴极工具分别连接电源正负极；e、向夹具内通入电解液，电解液压强大于0.1MPa；f、接通电源，进行电解加工。采用本方法进行电解加工，阴极工具固定PDMS模板的位置，保证所加工沟槽的宽度均匀，同时PDMS模板与阳极工件紧密接触，有利于提高沟槽阵列的电解加工精度；由于PDMS模板可以重复使用，该方法提高了沟槽阵列的加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 pdms 模板 沟槽 阵列 电解 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于PDMS模板的沟槽阵列电解加工系统，其特征在于：包括夹具(1)、阳极工件(2)、阴极工具(3)、电源(4)、电解液(5)以及PDMS模板(6)，所述夹具(1)内部为工作腔，阳极工件(2)、PDMS模板(6)以及阴极工具(3)均位于工作腔内，所述阳极工件(2)和阴极工具(3)分别连接电源(4)的正负极，所述夹具(1)具有进液口和出液口，进液口和出液口分别位于夹具(1)两侧，所述阳极工件(2)位于工作腔底部，阳极工件(2)位于PDMS模板(6)下方，PDMS模板(6)由长方体状的PDMS构成，各个PDMS模板彼此间隔开，所述阴极工具(3)具有沟槽阵列结构，沟槽的一端贯通、另一端为非贯通结构，沟槽用于安装PDMS模板(6)时的定位，阴极工具(3)上的沟槽的宽度与每个PDMS模板(6)的宽度相等，阴极工具(3)上的沟槽的长度与每个PDMS模板(6)的长度相等，阴极工具(3)上的沟槽的深度比每个PDMS模板(6)的厚度小300μm。
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