[发明专利]基板搬送装置有效

专利信息
申请号: 201710346866.1 申请日: 2017-05-16
公开(公告)号: CN107403744B 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 相泽雄树;小野岛昇;村上伸辅 申请(专利权)人: 佳能特机株式会社
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 李辉;刘畅
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供基板搬送装置,能够利用各垫尽可能均匀地承受基板的重量,进而能够使垫与基板的接触面积增加,即便使搬送速度变快也能够进行稳定的搬送。一种基板搬送装置,其具有:搬送用机器人,其对基板(1)进行搬送;手(2),其设置在该搬送用机器人上;以及垫(3),其设置在该手(2)的上表面,对所述基板(1)下表面的外周部进行支承,其中,在所述手(2)的上表面上设置有多个所述垫(3)以便对所述基板(1)进行多点支承,在该垫(3)上设置有与所述基板(1)接触而挠曲变形的可动片部(4)。
搜索关键词: 基板搬送 装置
【主权项】:
一种基板搬送装置,其具有:搬送用机器人,其对基板进行搬送;手,其设置在该搬送用机器人上;以及垫,其设置在该手的上表面,对所述基板的下表面的外周部进行支承,该基板搬送装置的特征在于,在所述手的上表面上设置有多个所述垫,以便对所述基板进行多点支承,在该垫上设置有可动片部,该可动片部与所述基板接触而挠曲变形。
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