[发明专利]可不开腔清洁阳极罩的磁控溅射装置及清洁方法

摘要

可不开腔清洁阳极罩的磁控溅射装置，包括腔体、靶材及设于腔体上的磁控靶和磁控靶挡板，腔体外侧设有第一接头、第二接头及升降机构，第一接头与腔体之间设有绝缘件，第二接头与腔体连通，升降机构与磁控靶挡板连接，磁控靶电源阳极与腔体连通，磁控靶挡板与腔体连通，靶材通过第一导线与磁控靶电源阴极连通，磁控靶的阳极罩通过第二导线与第一接头连通。清洁方法，S1调整磁控靶挡板位置，使磁控靶挡板与磁控靶的阳极罩之间可进行辉光溅射；第一导线连接至第一接头；S2磁控靶电源在磁控靶挡板与阳极罩之间施加电压，腔体中充入工艺气体，磁控靶挡板与阳极罩之间产生辉光溅射。本发明结构简单、可靠，能够不打开腔体清洁阳极罩上薄膜。

主权项

1.一种可不开腔清洁阳极罩的磁控溅射装置，包括腔体（101）、靶材（206）、以及安装于腔体（101）上的磁控靶（20）和旋转式的磁控靶挡板（106），其特征在于：所述腔体（101）外侧设有第一接头（304）、第二接头（308）及升降机构（301），所述第一接头（304）与所述腔体（101）之间设有绝缘件（305），所述第二接头（308）与所述腔体（101）连通，所述升降机构（301）与所述磁控靶挡板（106）连接，所述磁控靶（20）电源的阳极与所述腔体（101）连通，所述磁控靶挡板（106）与所述腔体（101）连通，所述靶材（206）通过第一导线（109）与所述磁控靶（20）电源的阴极连通，所述磁控靶（20）的阳极罩（203）通过第二导线（306）与所述第一接头（304）连通，所述磁控靶（20）包括固定座（201）和绝缘块（202），所述固定座（201）套设于所述绝缘块（202）上部外侧，所述阳极罩（203）套设于所述绝缘块（202）下部外侧，所述绝缘块（202）底部由内至外依次设有磁轭（211）、冷却罩（205）及阴极罩（204），所述阳极罩（203）位于所述阴极罩（204）外侧，所述磁轭（211）下部设有极性相反的磁铁（208），所述阴极罩（204）将所述靶材（206）压紧于所述冷却罩（205）下方，所述第一导线（109）与所述冷却罩（205）连通。