[发明专利]脊状发光二极管在审
申请号: | 201710347986.3 | 申请日: | 2017-05-17 |
公开(公告)号: | CN107275453A | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 冉文方 | 申请(专利权)人: | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种脊状发光二极管,包括SOI衬底层、晶化Ge层、脊状Ge‑Sn合金层、N型Ge‑Sn合金层、P型Ge‑Sn合金层,其中所述晶化Ge层位于所述SOI衬底层之上;所述脊状Ge‑Sn合金层位于所述晶化Ge层表面之上中间位置;所述N型Ge‑Sn合金层和P型Ge‑Sn合金层位于所述晶化Ge层表面之上所述脊状Ge‑Sn合金层两侧。本发明利用LRC工艺处理Ge外延层,横向释放Ge外延层的位错缺陷,获得低位错密度的Ge外延层;同时,由于LRC工艺可精确控制晶化区域,Si与Ge之间材料界面特性好,从而提高了器件性能。 | ||
搜索关键词: | 发光二极管 | ||
【主权项】:
一种脊状发光二极管,其特征在于,包括:SOI衬底层、晶化Ge层、脊状Ge‑Sn合金层、N型Ge‑Sn合金层、P型Ge‑Sn合金层,其中:所述晶化Ge层位于所述SOI衬底层之上;所述脊状Ge‑Sn合金层位于所述晶化Ge层表面之上中间位置;所述N型Ge‑Sn合金层和所述P型Ge‑Sn合金层位于所述晶化Ge层表面之上所述脊状Ge‑Sn合金层两侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安科锐盛创新科技有限公司,未经西安科锐盛创新科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710347986.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。