[发明专利]脊状发光二极管在审

专利信息
申请号: 201710347986.3 申请日: 2017-05-17
公开(公告)号: CN107275453A 公开(公告)日: 2017-10-20
发明(设计)人: 冉文方 申请(专利权)人: 西安科锐盛创新科技有限公司
主分类号: H01L33/20 分类号: H01L33/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明涉及一种脊状发光二极管,包括SOI衬底层、晶化Ge层、脊状Ge‑Sn合金层、N型Ge‑Sn合金层、P型Ge‑Sn合金层,其中所述晶化Ge层位于所述SOI衬底层之上;所述脊状Ge‑Sn合金层位于所述晶化Ge层表面之上中间位置;所述N型Ge‑Sn合金层和P型Ge‑Sn合金层位于所述晶化Ge层表面之上所述脊状Ge‑Sn合金层两侧。本发明利用LRC工艺处理Ge外延层,横向释放Ge外延层的位错缺陷,获得低位错密度的Ge外延层;同时,由于LRC工艺可精确控制晶化区域,Si与Ge之间材料界面特性好,从而提高了器件性能。
搜索关键词: 发光二极管
【主权项】:
一种脊状发光二极管,其特征在于,包括:SOI衬底层、晶化Ge层、脊状Ge‑Sn合金层、N型Ge‑Sn合金层、P型Ge‑Sn合金层,其中:所述晶化Ge层位于所述SOI衬底层之上;所述脊状Ge‑Sn合金层位于所述晶化Ge层表面之上中间位置;所述N型Ge‑Sn合金层和所述P型Ge‑Sn合金层位于所述晶化Ge层表面之上所述脊状Ge‑Sn合金层两侧。
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